同时移动光罩载台和晶圆载台、在曝光时采用“步进扫描方式”（step and scan）的光刻机称为Scanner“扫描式光刻机”。扫描式光刻机虽然使系统变得复杂，但扫描动作可覆盖曝光视场，因此可以缩小镜头。其主要优点在于，可设计和生产像差小和失真少的镜头。另外，当晶圆基底上的图案存在变形时，可通过扫描动作一边修正一边曝光，因此扫描式光刻机具备很高的套刻性能。上述特点使高精度曝光成为可能。

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