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【IT168 行情】中晶FileScan 1030是自动馈纸式家族一员，它秉承以往双平台式的工作特点(集自动馈纸与平台扫描与于一体)，再配合专业驱动可将文档影像数字化工作用途拓展、效率提升。自动

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近日，随着上海复工复产的快速推进，东方晶源积极组织设备交付工作，旗下电子束缺陷检测（EBI）和关键尺寸量测（CD-SEM）两台设备已顺利交付上海客户。此次出机，是东方晶源继电子束量测检测设备出机国内知名晶圆代工厂后，再次赢得头部客户的青睐和认可。同时，标志着东方晶源硬件产品开启批量交付模式。